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发明名称 Vorrichtung zum Transportieren und individuellen Behandeln von dünnen Substraten
摘要
申请公布号 DE3425267(C2) 申请公布日期 1993.12.16
申请号 DE19843425267 申请日期 1984.07.10
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 BOYS, DONALD REX, CUPERTINO, CALIF., US;GRAVES JUN., WALTER EDGAR, SAN JOSE, CALIF., US
分类号 H01L21/677;B65G49/07;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/67;(IPC1-7):B65G49/07;H01F41/18;H01L21/68;C23C14/34;C23C14/24 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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