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发明名称 ALUMINIUMNITRIDSINTER UND HALBLEITERSUBSTRAT, DAS DARAUS HERGESTELLT IST.
摘要
申请公布号 DE3787968(T2) 申请公布日期 1994.02.17
申请号 DE19873787968T 申请日期 1987.08.13
申请人 HITACHI METALS, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IYORI, YUSUKE, FUKAYA-SHI, SAITAMA 366, JP;FUKUSHIMA, HIDEKO, KUMAGAYA-SHI, SAITAMA 360, JP
分类号 C04B35/581;C04B41/50;C04B41/51;C04B41/52;H01L21/48;H01L23/15;(IPC1-7):C04B35/58;C04B41/90 主分类号 C04B35/581
代理机构 代理人
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