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본 발명은 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 동작 방법에 관한 것이다. 제 1 단계(S1)에서, 복수의 실제 조작기를 포함하는 투영 오브젝티브가 제공된다. 제 2 단계(S2)에서, 가상 조작기가 한정되어, 실제 조작기 중 적어도 2개의 실제 조작기에 대한 예비 제안 신호를 생성하도록 구성된다. 제 3 단계(S3)에서, 투영 오브젝티브의 실제 이미지 에러가 결정된다. 제 4 단계(S4)에서, 소망되는 교정 효과가 결정된다. 제 5 단계(S5)에서, 가상 조작기에 대한 제 1 가상 제어 신호가 결정된다. 제 6 단계(S6)에서, 실제 조작기에 대한 제 2 가상 제어 신호가 결정된다. 제 7 단계(S7)에서, 제 1 가상 제어 신호 및 제 2 가상 제어 신호의 함수로서 실제 조작기에 대한 최종 제어 신호가 결정된다. 제 8 단계(S8)에서, 최종 제어 신호는 실제 조작기에 인가된다. |
