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发明名称 REDUCTION PROJECTION ALIGNER, METHOD AND EQUIPMENT FOR DETECTING EXTRANEOUS SUBSTANCE IN REDUCTION PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH0694634(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920269676 申请日期 1992.09.11
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KIMINO KAZUYA
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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