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发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06174461(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920330199 申请日期 1992.12.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 KONO MAKIKO;HOSOKI SHIGEYUKI
分类号 G01B21/30;G01Q10/02;G01Q10/04;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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