| 发明名称 |
METHOD AND APPARATU FOR ASHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177088(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920255790 |
申请日期 |
1992.08.31 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SATO JUNICHI;KADOMURA SHINGO |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/311;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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