发明名称 MANUFACTURE OF MIS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06204248(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920359156 申请日期 1992.12.26
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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