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发明名称 METHOD OF SAMPLE INSPECTION AND ITS SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06215721(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19910044122 申请日期 1991.02.18
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 UORUTAA UIRIAMUZU HIRUDENBURANDO;SUTEIIBUN GURETSUGU ATAABATSUKU
分类号 H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
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