| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING SUPRCONDUCTOR SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06268271(A) |
申请公布日期 |
1994.09.22 |
| 申请号 |
JP19930053803 |
申请日期 |
1993.03.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FURUKAWA AKIHIKO;OISHI TOSHIYUKI;WADA YUKIHIKO;TAKAMI TETSUYA;KOJIMA KAZUYOSHI;KURODA KENICHI |
| 分类号 |
H01B13/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
H01B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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