| 发明名称 |
HOLOGRAPHIC INTERFERENCE EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06281803(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930214060 |
申请日期 |
1993.08.30 |
| 申请人 |
HIYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
TAE JIMU KIMU;DOUU FUAN RII |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B5/18;G02B5/32;(IPC1-7):G02B5/18 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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