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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Substraten nach Behandlung in einer Flüssigkeit.
摘要
申请公布号 DE69012373(D1) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE1990612373 申请日期 1990.02.21
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 LEENAARS, ADRIAAN FRANCISCUS MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN OEKEL, JACQUES JULES, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 B08B3/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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