发明名称 SEMICONDUCTOR AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06310507(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930120659 申请日期 1993.04.23
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 KAWASHIMA IKUE
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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