发明名称 Verfahren zur Strukturierung von Wafern
摘要
申请公布号 DE4129206(C2) 申请公布日期 1995.01.05
申请号 DE19914129206 申请日期 1991.09.03
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 LAERMER, FRANZ, DR., 7000 STUTTGART, DE
分类号 H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308;C23F1/04;C23F17/00;G03F7/00 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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