| 发明名称 |
ION BEAM SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH073451(A) |
申请公布日期 |
1995.01.06 |
| 申请号 |
JP19930144774 |
申请日期 |
1993.06.16 |
| 申请人 |
JAPAN AVIATION ELECTRON IND LTD |
发明人 |
HOSHI NORIYOSHI;KATAOKA IZUMI |
| 分类号 |
C23C14/46;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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