| 发明名称 |
PLASMA ETCHING USING XENON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0758079(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19940134508 |
申请日期 |
1994.06.16 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
SUTEIIBUN MATSUKU;BURAIAN SHIA;CHIYAARUZU SUTEFUAN ROODESU |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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