发明名称 |
CONTROL METHOD FOR SCAN TYPE PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0783607(A) |
申请公布日期 |
1995.03.28 |
申请号 |
JP19930231399 |
申请日期 |
1993.09.17 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KADO HIROYUKI;YAMAMOTO SHINICHI;TODA TAKAO |
分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/06;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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