发明名称 |
MORDENTADO ESTRUCTURAL QUIMICO-HUMEDO DE SILICIO. |
摘要 |
UN PROCEDIMIENTO PARA EL TRATAMIENTO QUIMICO HUMEDO DE LA ESTRUCTURA DE SILICIO EN EL QUE LA SUPERFICIE DEL SILICIO SE PONE EN CONTACTO CON UNA SOLUCION QUIMICA, QUE CONTIENE AGUA, UN REACTIVO BASICO, ALCOHOL Y SILICIO U OXIDO DE SILICIO DEBE PERMITIR LA FABRICACION REPRODUCIBLE DE DETERMINADAS ESTRUCTURAS SUPERFICIALES UNIDA A UN TEXTURADO COMPLETO DE LA SUPERFICIE DEL DISCO. A LA SOLUCION QUIMICA SE AGREGA OXIGENO.
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申请公布号 |
ES2068304(T3) |
申请公布日期 |
1995.04.16 |
申请号 |
ES19900118718T |
申请日期 |
1990.09.28 |
申请人 |
SIEMENS SOLAR GMBH |
发明人 |
HOLDERMANN, KONSTANTIN, DIPL.-CHEM.-ING. |
分类号 |
H01L21/306;H01L31/0236;(IPC1-7):H01L21/306;H01L31/023 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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