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发明名称 Method for producing single crystal boron nitride film.
摘要
申请公布号 EP0442490(B1) 申请公布日期 1995.05.03
申请号 EP19910102090 申请日期 1991.02.14
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 KIMOTO, TUNENOBU, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO;TOMIKAWA TADASHI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO;FUJITA, NOBUHIKO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/38;(IPC1-7):C30B25/02;C30B29/40 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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