| 发明名称 |
PROBE MECHANISM, DRIVING METHOD THEREOF AND MEMORY APPARATUS HAVING THE MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07121916(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930266865 |
申请日期 |
1993.10.26 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KAWAGISHI HIDEYUKI;EGUCHI TAKESHI |
| 分类号 |
H01J37/28;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/10;G01Q70/14;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G11B9/00 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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