发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTORS
摘要
申请公布号 RU2035800(C1) 申请公布日期 1995.05.20
申请号 SU19925036928 申请日期 1992.04.13
申请人 MALOE NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE PREDPRIYATIE "ELO" 发明人 VORONKOV EDUARD N;KAZUROV BORIS I;POPOV IGOR A;CHERNOROTOV BORIS P;OGURTSOV OLEG F
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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