| 发明名称 |
Reticle Having a Number of Subfields |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2131669(A1) |
申请公布日期 |
1995.06.24 |
| 申请号 |
CA19942131669 |
申请日期 |
1994.09.08 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
DAVIS, DONALD E. |
| 分类号 |
G03F1/08;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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