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经营范围
发明名称
Electron Beam Lithography System
摘要
申请公布号
CA2131670(A1)
申请公布日期
1995.06.24
申请号
CA19942131670
申请日期
1994.09.08
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
PFEIFFER, HANS C.;STICKEL, WERNER
分类号
G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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