| 主权项 |
1.一种机械性脱离机构,具有:基座;台,小于被配置在用以保持基板之该基座上之基板;梢,从该台突出;环,面对被配置在该台之周围之基板之边缘之背面;其特征是面对基板之边缘之部份之厚度比台之厚度薄,和具有驱动装置,在梢将基板推上后用来使环将基板之边缘推上。2.如申请专利范围第1项之机械性脱离机构,其特征是该驱动装置用来使该基座升降。3.如申请专利范围第1项之机械性脱离机构,其特征是该驱动装置用来使梢和环一起升降。4.如申请专利范围第2项之机械性脱离机构,其特征是该驱动装置具有:螺帽,连接到用以支持基座之支柱;螺旋,用来与该螺帽结合;马达,用来使该螺旋进行旋转;阻挡器,用将接触在框架之梢推上;和阻挡器,被固定在基座之周围,用来将该环更进一步的推上。5.如申请专利范围第3项之机械性脱离机构,其特征是该驱动装置具有:阻挡器,用来将梢推上;阻挡器,用来将环推上;板,用来将该等阻挡器推上;螺帽,被连接到该板;螺旋,结合在该螺帽;和马达,用来使该螺旋进行旋转。6.一种机械性脱离机构,具有:基座;台,小于被配置在用以保持基板之该基座上之基板;梢,从该台突出;环,面对被配置在该台之周围之基板之边缘之背面;其特征是面对基板之边缘之环之部份之厚度比台之厚度薄,具有用来将梢推上之驱动装置和用来将环推上之驱动装置。7.如申请专利范围第6项之机械性脱离机构,其特征是该梢之驱动装置具备:阻挡器,用来将梢推上;圆形板,用来将该阻挡器推上;螺帽,被连接到该板;螺旋,结合在该螺帽;和马达,用来使该螺旋进行旋转。8.如申请专利范围第6项之机械性脱离机构,其特征是该环之驱动装置具备有:阻挡器,用来将环推上;马蹄形板,用来将该阻挡器推上;螺帽,被连接到该板;螺旋,结合在该螺帽;和马达,用来使该螺旋进行旋转。9.如申请专利范围第1至第6项之机械性脱离机构,其特征是该基座为电极。10.如申请专利范围第1至第6项之机械性脱离机构,其特征是该台之制成是使用介质体或将介质体之薄膜涂覆在金属上。11.如申请专利范围第1至第6项之机械性脱离机构,梢被配置在基座内,其位置是使基板之中央部成为突上之方式。12.一种脱离方法,其特征是利用该梢使被保持在基座上之台之基板突上,用来使基板倾斜,然后利用该梢将基板推上和利用该环将基板之边缘推上。13.一种脱离方法,其特征是利用梢使被保持在基座上之台之基板突上,用来使基板倾斜,然后将梢固定,利用环将基板之边缘推上。14.如申请专利范围第12至第13项之脱离方法,其特征是利用梢使基板突上大约1㎜。图示简单说明:图1之(a)是本发明之第一实施例之剖面图,(b)是本发明之第一实施例之上面图。图2是第一实施例中之使梢开始上升之状态图。图3是第一实施例中之使环作用后之状态图。图4是第一实施例中之基板之接受时之状态图。图5是本发明之另一实施例之图形,(a)是环一部份剖面图,(b)是梢部份之剖面图,(c)为其平面图。图6是本发明之另一实施例之环和阻挡器之平面图。图7是本发明之第二实施例之剖面图。图8是习知之基板脱离机构之构造图。图9是利用该习知之基板脱离机构之图,使梢进行作用后之状态图。图10表示利用本发明之机械性脱离机构,使梢和环在基板作用时之施加在基板之力之状态。图11表示使基板脱离前之对基板进行作用之力。图12表示使梢和环同时将基板推上时之对基板进行作用之力。图13表示台和环之环状阶梯部之厚度相同,利用梢将基板推上时之对基板进行作用之力。图14之(a)是本发明之第三实施例之剖面图。(b)是本发明 |
