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发明名称 Bürstenanordnung zum Reinigen von Halbleiterwafern
摘要
申请公布号 DE19524344(A1) 申请公布日期 1996.01.18
申请号 DE19951024344 申请日期 1995.07.04
申请人 ONTRAK SYSTEMS INC., MILPITAS, CALIF., US 发明人 THRASHER, DAVID L., SANTA CLARA, CALIF., US;RYLE, LYNN, SAN JOSE, CALIF., US
分类号 B08B1/04;B21B45/06;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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