Verfahren zur Herstellung von festen Polysilanmischungen

摘要

Verfahren zur Herstellung von festen Polysilanmischungen der Zusammensetzung SinH2n oder SinH2n+2 mit n > 10 mit den folgenden Schritten: a. Herstellen eines Gemisches aus halogenierten Polysilanen durch plasmachemische Behandlung von Halogensilanen; und b. Hydrieren des Gemisches aus halogenierten Polysilanen zur Gewinnung der festen Polysilanmischungen.