| 主权项 |
1. 一种正型光阻组成物,其包括5—50重量%之二叠氮化合物及50—95重量%之含树脂(A)之硷溶性树脂,而树脂(A)系经由至少一种由下列通式(I)表示之苯酚化合物与至少一种由下列通式(II)表示之多元酚化合物及甲醛之缩合反应而制得者,而其中以通式(I)表示之苯酚化合物为:式中R@ss1,R@ss2及R@ss3各自独立可为氢原子或具1—4个碳原子的烷基,k为1或2,另外以通式(II)表示之多元酚化合物则为:式中R@ss4@su',R@ss5@su'及R@ss6@su'各自独立可为氢原子或具1—4个碳原子之烷基,n为1或2;其中缩合反应中该式(I)之苯酚化合物对该式(II)之多元酚化合物的莫耳比率为60:40至99.5:0.5之范围;该树脂(A)在GPC图形中具有一面积范围,即如转换成聚苯乙烯之分子量不大于1000者占不超过30%之不包括未反应苯酚化合物的总图形面积,以及该树脂(A)在GPC图形中具有一面积范围,即如转换成聚苯乙烯之分子量不大于6000者为占自15%至65%之不包括未反应苯酚化合物的总图形面积;树脂(A)于GPC图形中之转换的聚苯乙烯之平均分子量为自2000至20,000;该硷溶性树脂更含有低分子量甲苯酚酚醛清漆树脂(B),其在GPC图形中转换的聚苯乙烯平均分子量为自200至2000,以及以下列通式(III)表示之化合物:式中R@ss4,R@ss5,R@ss6,R@ss7,R@ss8及R@ss9各自可为氢原子或具1至4个碳原子之烷基或烷氧基,R@ss1@ss0为氢原子,具1至4个碳原子之烷基或芳基,而p,q和r乃各自独立为0,1或2;其中该低分子量酚醛清漆树脂(b)之含量为自4至50份重量,及该化合物(III)之含量为4至40份重量,两者含量皆以每100份重量之硷溶性树脂总量为基准。2. 根据申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该式(II)之多元酚化合物乃为下式之化合物:其中m为0,1,2或3。3. 根据申请专利范围第2项之正型光阻组成物,其中该式(II)之多元酚化合物乃为下式之化合物:4. 根据申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该式(I)之苯酚化合物乃为选自间甲苯酚,对甲苯酚,3,5—二甲苯酚,2,5—二甲苯酚,2,3,5—三甲苯酚,6—第三丁基—3—甲苯酚及2—第三丁基—5—甲苯酚之一化合物。5. 根据申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该低分子量酚醛清漆树脂(B)具有在GPC图形中转换成聚苯乙烯之平均分子量为200至1,000。6. 根据申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该式(III)之化合物乃为选自包括:7. 根据申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该式(III)之化合物乃为选自: |
