发明名称 NEAR FIELD-SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0843059(A) 申请公布日期 1996.02.16
申请号 JP19940175562 申请日期 1994.07.27
申请人 NIKON CORP 发明人 SATO KENICHI
分类号 G01B11/30;G01N21/47;G01Q30/00;G01Q60/18;G01Q60/22;G02B21/00;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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