| 发明名称 |
REVOLUTION RETICLE SCANNING TYPE PROJECTION EQUIPMENT AND METHOD FOR LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0897136(A) |
申请公布日期 |
1996.04.12 |
| 申请号 |
JP19950228703 |
申请日期 |
1995.09.06 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
WAANAA SUTEITSUKERU;RODONII AASAA KENDARU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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