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发明名称
MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0897422(A)
申请公布日期
1996.04.12
申请号
JP19940234979
申请日期
1994.09.29
申请人
SONY CORP
发明人
ONO KEIICHI
分类号
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/08;H01L29/10;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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