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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08124904(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940260212 申请日期 1994.10.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIKAWA KAZUYASU;SHIBANO TERUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/824 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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