发明名称 SOFT MAGNETIC THIN FILM AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08138934(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940269563 申请日期 1994.11.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJII AKIYUKI;TORII HIDEO;TAKAYAMA RYOICHI
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C23C28/04;H01F10/08;H01F10/20;H01F10/26;H01F41/22;(IPC1-7):H01F10/08 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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