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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH08148559(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940280619 申请日期 1994.11.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIN DAITEI
分类号 H01L21/768;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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