发明名称 SEMICONDUCTOR ABRADING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08172118(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19940316127 申请日期 1994.12.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUNODA KAZUHIRO
分类号 H01L21/66;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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