| 摘要 |
웨이퍼 적재기가 개별적인 웨이퍼를 내부에서 지지하기 위해서 웨이퍼 지지 링을 이용한다. 웨이퍼 지지 링이, 적층체의 높이에 영향을 미치지 않으면서, 다양한 두께의 웨이퍼를 지지할 수 있고, 충격 이벤트 중에 링 내의 내재된 웨이퍼의 속박을 제공한다. 웨이퍼 및 링이 협력하여, 충격 이벤트 중에 웨이퍼 상으로 가해지는 쇼크를 감쇠시키기 위해서 충격 이벤트 시에 완충부로서 작용하는 공극을 웨이퍼들 사이에 형성한다. 유사하게, 일부 실시예는, 충격의 영향을 감쇠시키기 위해서 적층체의 최상부 웨이퍼와 최하부 웨이퍼 사이에서 폐쇄된 가스 포켓을 형성하는 구조물을 포함한다. 여러 실시예는, 충격 이벤트 중에 웨이퍼가 웨이퍼 지지 링 외부로 "건너 뛰는 것"을 방지하는 구조물을 포함한다. 일부 실시예는 웨이퍼 편평부를 지지하기 위한 구조물을 포함한다. |
