发明名称 Sealing structure used in Substrate disposition apparatus
摘要 실링구조의 일 실시예는, 제1배관의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비되는 플랜지; 원통형으로 형성되고, 상기 제1배관과 연통되도록 배치되는 제2배관; 상기 제2배관의 외주면 착탈가능하도록 장착되고, 상기 플랜지와 대면하도록 장착되는 푸시링(push ring); 상기 플랜지와 상기 푸시링 사이에 배치되어 상기 플랜지와 상기 푸시링이 서로 밀착함에 따라 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 실링부재; 및 상기 플랜지와 상기 푸시링을 가압하여 서로 밀착시키는 클램프를 포함할 수 있다.
申请公布号 KR20160003846(U) 申请公布日期 2016.11.08
申请号 KR20150002764U 申请日期 2015.04.29
申请人 주성엔지니어링(주) 发明人 양승용;권형국;김현오;오웅교;유광수;이용현
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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