半导体用炉管之新结构

摘要

本创作系指一种半导体用炉管之新结构，主要系在石英管之接头部份具有特殊设计之空间型态，再配合Ｏ形环（o-ring），使石英管与石英管之接头部份不致有气体之外漏，造成机台附近之不锈钢管壁腐蚀，而达到完全防漏之目的。

主权项

1. 一种半导体用炉管之新结构系含有二截段石英管,该石英管之端头部份形成有突缘,其特征在其中一石英管之突缘上形成有凸出之平台,供O形环套住;再以弧形夹嵌入该突缘,该弧形夹上设有若干螺栓孔,供螺栓穿过并藉螺紧螺栓使弧形夹向内缩,以达使二石英管之突缘紧密结合及防止气体外漏之功效。图示简单说明:图1为习知二截段石英管之示意图。图2为图1二截管组合之示意图。图3(a)为弧形夹之侧视图。图3(b)为弧形夹之上视或底视图。图4(a)为依据本创作石英管接头组合前之示意图。