发明名称 |
室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法 |
摘要 |
室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法,所述方法包括如下步骤:(1)衬底清洗;(2)预溅射;(3)同质缓冲层制备;(4)紫外光辅助溅射AZO薄膜主体层。本发明的引入低功率室温溅射的同质缓冲层,有利于后续高质量AZO主体层薄膜的制备及减小溅射粒子对有机柔性衬底造成损伤。利用本发明制备的AZO薄膜结晶性能良好,表面致密平整,工艺操作相对简单,适于工业化生产。 |
申请公布号 |
CN106119778A |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201610665926.1 |
申请日期 |
2016.08.15 |
申请人 |
河南安彩高科股份有限公司 |
发明人 |
王新昌;闫震;郭松昌;万志刚;丁万勇;李光辉;刘国龙 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
郑州立格知识产权代理有限公司 41126 |
代理人 |
王晖 |
主权项 |
室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:(1)衬底清洗:将柔性衬底分别用丙酮、无水乙醇超声清洗15‑25 min,再用去离子水超声清洗10‑20 min,最后进行干燥;(2)预溅射:将干燥后的柔性衬底装入溅射镀膜设备的真空腔体内,将活动挡板置于出衬底与靶材之间,并抽真空,然后充入氩气,调节流量至真空室压强为0.5‑0.7 Pa,进行预溅射5‑15 min;(3)同质缓冲层制备:采用AZO陶瓷靶材,打开活动挡板进行缓冲层沉积,采用磁控溅射在柔性衬底上镀覆AZO作为同质缓冲层,溅射时衬底温度为室温,溅射功率为70‑80 W,真空室压强为0.5 ‑0.7 Pa;(4)紫外光辅助溅射AZO薄膜主体层:调节氩气气流至真空室压强为0.15‑0.4 Pa,打开位于溅射真空腔体底部的紫外灯,在紫外光辐照情况下,室温条件下进行AZO薄膜主体层溅射制备,溅射靶材仍采用缓冲层制备时的AZO陶瓷靶材,溅射功率为90‑120 W,溅射时间为20‑60 min。 |
地址 |
455000 河南省安阳市龙安区安彩路 |