行走式压电元件精密驱动装置

摘要

一种新的压电材料驱动装置。此种驱动装置是利用二只或二只以上的压电材料所构成之精密移动脚，以挠性铰式平行移动装置，来推动中心的移动轴而进行精密移动之目的。又由于各脚以不同的相位来驱动中心之移动轴。因此，此中心移动轴不但得以利用压电材料优异之精密移动特性（通常小于0.1微米／步）来达到次微米或更高的移动能力。而且由于使用多只脚，并以不同之相位来移动中心轴，中心轴因此得以在时间范畴上作”连续”精密的”长距离”运动。

主权项

1. 一种行走式压电元件驱动装置,包含二只或以上之驱动脚,用以驱动一中心轴作直线移动;其中,该驱动脚包含一个压电移动元件,一个压电箝制元件以及一个挠性铰式平行移动装置;且该压电移动元件系以等角度作相位差移动控制者。2. 如申请专利范围第1项之装置,其中之挠性铰式平行移动装置包含一个固定部份及一挠性平行移动部份,挠性平行移动部份在该压电移动元件驱动下,可相对该固定部份平行移动一短距离;且于该压电移动元件不作用时,可因挠性而回复原位。3. 如申请专利范围第1项或第2项所述之装置,其中该驱动脚系以该压电移动元件驱动该挠性铰式平行移动装置之挠性平行移动部份,且该压电箝制元件固定于该挠性平行移动部份,并可箝制该中心轴者。4. 如申请专利范围第1项或第2项所述之装置,其中之压电元件系选自单晶、多晶、陶瓷或聚合物等具有压电特性材质者。图示简单说明:第1图表示本发明行走压电元件精密驱动装置之俯视图。第2图表示其侧视图。第3图表示适用在本发明实施例之一体成型挠性铰式平行运动装置(精密移动脚)之俯视图。第4图表示适用在本发明实施例之一体成型挠性铰式平行运动装置(精密移动脚)之侧视图。第5图表示本发明之行走式压电元件精密驱动装置之运动方式示意图。第6图表示本发明行走式压电元件精密驱动装置各运动脚