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发明名称 WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08316187(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950140014 申请日期 1995.05.15
申请人 KURITA WATER IND LTD;NEC CORP 发明人 MIZUNIWA TETSUO;SHIROMIZU YOSHIMI
分类号 C11D7/10;B08B3/08;C11D7/00;C11D11/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C11D7/10
代理机构 代理人
主权项
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