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发明名称
摘要
申请公布号
JP2567320(B2)
申请公布日期
1996.12.25
申请号
JP19920056464
申请日期
1992.02.05
申请人
SUMITOMO PRECISION PROD CO
发明人
YAMANAKA TAKEO
分类号
H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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