发明名称
摘要
申请公布号 JP2567320(B2) 申请公布日期 1996.12.25
申请号 JP19920056464 申请日期 1992.02.05
申请人 SUMITOMO PRECISION PROD CO 发明人 YAMANAKA TAKEO
分类号 H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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