| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TESTING FUNCTION OF MINUTE-STRUCTURE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0933617(A) |
申请公布日期 |
1997.02.07 |
| 申请号 |
JP19960163276 |
申请日期 |
1996.06.24 |
| 申请人 |
II C T INTEGRATED CIRCUIT TESUCHINGU G FUER HARUPURAITAAPURIYUUFUTEHINIKU MBH |
发明人 |
MASHIASU BURUNNAA;HANSU PEETAA FUOIERUBAUMU;YURUGEN FUROJIEN |
| 分类号 |
G01R31/26;B81C99/00;G01M11/00;G01R31/302;G01R31/305;G09G3/00;H01J9/42;H01L21/66;H01L29/66;H01S5/00;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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