| 主权项 |
1. 一种探针头,系属于接触于被检查体之电极焊接点而用以检查被检查体之电气特性所用的探针头,其特征为:具备形成有复数之导电型样的绝缘基板,及具有电气式地连接于该绝缘基板之各导电型样的基端,及用以接触各电极焊接点所用的自由端,当该自由端接触于各电极焊接点时,挫曲而以所定压力将自由端接触于电极焊接点的复数探针,及用以收容这些复数探针所用的探头体等。2. 如申请专利范围第1项所述之探针头,其中,各探针系藉线接合器所接合之线本体所形成;该探针之基端系藉线接合器线接合于上述绝缘基板之各导电型样所形成;探针之自由端系线结合于虚表基板后加以切断者。3. 如申请专利范围第1项所述之探针头,其中,各探针之基端软焊于上述绝缘基板之各导电型样并予以支持者。4. 如申请专利范围第1项所述之探针头,其中,上述探头体系具有当各探针挫曲时,用于引导各探针之中间部所用的复数凹沟者。5. 如申请专利范围第1项所述之探针头,其中,各凹沟系藉切片锯切削所形成者。6. 如申请专利范围第4项所述之探针头,其中,配列于各凹沟的探针之配列节距,系探针之外径为20(-50(时,设定在50(-120m者。7. 如申请专利范围第4项所述之探针头,其中,各凹沟系基端侧之一方比探针之自由端侧形成较深者。8.如申请专利范围第4项所述之探针头,其中,各凹沟系该凹沟之最大深度形成比探针之直径大者。9. 如申请专利范围第8项所述之探针头,其中,凹沟之最大深度系探针之外径为20-50(时为300(以上,较理想为500(者。10. 如申请专利范围第4项所述之探针头,其中,上述探头体系具有覆盖凹沟之盖部,而在该盖部与凹沟之间的空间可旋行挫曲者。11. 一种探针头,系属于接触于被检查体之电极焊接点而用以检查被检查体之电气特性所用的探针头,其特征为:具备形成有复数之导电型样的绝缘基板,及形成藉线结合器所结合的线本体,具有藉线结合器线结合于上述绝缘基板之各导电型样的基端,及线结合于虚设基板后被切断的自由端的复数探针,及用以收容这些复数探针所用的探头体等。12. 一种探针头,系属于接触于被检查体之电极焊接点而用以检查被检查体之电气特性所用的探针头,其特征为:具备形成有复数之导电型样的绝缘基板,及具有电气式地连接于该绝缘基板之各导电型样的基端,及用以接触各电极焊接点所用的自由端的探针,及具有当各探针接触于电极焊接点时,引导各探针之中间部使各探针可挫曲所用的复数凹沟的探针头等。13.一种探针头之制造方法,系属于接触于被检查体之电极焊接点而用以检查被检查体之电气特性所用的探针头的制造方法,其特征为:具备在绝缘基板之导电型样结合线之一端的过程,及将该线向探针头之上方延伸的过程,及将线之另一端结合于虚设基板的过程,及将两端被结合之线嵌合于探头体之凹沟的过程,及切断线之另一端,并将该线使用作为探针之过程等。14.如申请专利范围第13项所述之探针头之制造方法,其中,各凹沟系藉切片锯切削所形成者。15. 如申请专利范围第13项所述之探针头之制造方法,其中,配列于各凹沟的探针之配列节距,系成为探针的线之外径为20(-50(时,设定在50(-120(者。16. 一种使用申请专利范围第1项至第12项之任一项所述之探针头以检查被检查体之电气性特性的检查方法,其特征为:具备将探针头之探针的自由端接触于被检查体之电极焊接点的过程,及对电极焊接点推压该探针之自由端,结果,挫曲探针,藉所定之压力将自由端弹性地接触于电极焊接点的过程等。图示简单说明:第1图系表示被检查装置之一例的整体斜视图。第2图系装设于表示于第1图之检查装置之运送装置的侧面图。第3图系表示将LCD用基板藉表示于第1图之检查装置的基板载置台刚接触于探针之前的状态的剖面图。第4图系表示LCD用基板的平面图。第5图系表示本发明之第1实施例之探针头的斜视图。第6A图系表示于第5图之探针头之制造过程的斜视图,第6B图系表示变形例之探针头之制造过程的斜视图。第7图系表示用于说明本发明之探针头之制造过程的模式图,第7A图系表示第1次接合过程,第7B图系表示对凹沟之压入过程,第7C图系表示切断过程。第8图系表示于第7B图之压入过程的侧面图。第9图系表示于第7C图之切断过程的模式平面图。第10图系表示探针之前端形状的概略图,第10A图系表示球形状,而第10B图系表示图形状者。第11图系表示第1实施例之探针头之适用例的斜视图。第12图系表示本发明之第2实施例之探针头的横剖面图,第12A图系表示非检查状态,第12B图及第12C图系表示检查状态。第13图系表示本发明之第2实施例之探针头的斜视图。第14图系表示于第13图之探针头之制造过程的斜视图。第15图系表示用于说明第2实施例的探针头之制造方法之各过程所用的模式图,第15A图系表示第1次接合过程及第2次接合过程,第15B图系表示对凹沟之插入过程,第15C图系表示切断过程。第16图系表示装配第2实施例之复数探针头的探针头体之一例子的概略平面图。第17图系表示第2实施例之变形例之探针头的模式剖面图 |
