窑炉用燃烧装置及燃烧方法

摘要

此处提供一用于窑炉中之燃烧装置、以及一窑炉中之一燃烧方法。，此装置是为在一晶圆上形成一层膜，该装置包含：提供气体之喷嘴、与用以使该等气体燃烧之电热线圈该燃烧装置系用一线圈燃烧氢气，而不是用一盏灯与一反射镜。因此遏阻在使用该反射镜时产生之问题。

主权项

1. 一种窑炉用燃烧装置,其系用以在一晶圆上形成一层膜,该装置包含:用以提供气体之喷嘴;以及用以使该等气体燃烧之电热线圈。2. 如申请专利范围第1项所述之窑炉用燃烧装置,其中该等气体系氧气与氢气。3. 如申请专利范围第1项所述之窑炉用燃烧装置,更包含气体温度感测装置与温度控制装置。4. 一种窑炉用燃烧装置之燃烧方法,该装置系用以在一晶圆上形成一层膜,该方法包含下列步骤:经由喷嘴提供气体;以及提供电流加热该等气体以使该等气体燃烧。图示简单说明:第1图系一普通的窑炉之概图;第2图更详细显示一用于第1图所示之窑炉中的传统燃烧装置;以及