晶圆座

摘要

一种晶圆座具有一类似于一晶圆之周缘的内周缘，以及一延伸出多数腿的外周缘，其中在该内与外周缘之间的宽度系足以支持该晶圆的整个周缘。因此，该晶圆座在该晶圆之一大表面上施加一均匀的支持力，所以，可以避免对于一形成在该晶圆上的薄膜造成损害，藉此增加该半导体装置的产率。

主权项

1. 一种晶圆座,其具有一类似于一晶圆之周缘的内周缘,以及一延伸出多数腿的外周缘,其中在该内与外周缘之间的宽度系足以支持该晶圆的整个周缘。2. 如申请专利范围第1项之晶圆座,其中该等腿之数目为四。图示简单说明:第1图是一习知技艺之晶圆座的平面图;并且第2图是一本发明一实施例之晶圆座的平面图;并且