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发明名称
摘要
申请公布号	JP2590733(B2)	申请公布日期	1997.03.12
申请号	JP19940102411	申请日期	1994.05.17
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	SAKAI AKIRA
分类号	H01L21/28;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/203;H01L21/824	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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