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经营范围
发明名称
WAFER BOAT FOR LPCVD
摘要
申请公布号
KR970003594(Y1)
申请公布日期
1997.04.18
申请号
KR19940007175U
申请日期
1994.04.06
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD.
发明人
KIM, KYUNG-JOON
分类号
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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