| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM TRANSFER SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09129543(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19950285118 |
申请日期 |
1995.11.01 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKASUJI MAMORU;SHIMIZU HIROYASU |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
