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经营范围
发明名称 SHINKUSHORIHOHO
摘要
申请公布号 JP2646998(B2) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 JP19940086159 申请日期 1994.04.25
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TANAKA YOSHE;SAIKAI MASAHARU;OGAWA YOSHIFUMI;TSUJIMOTO KAZUNORI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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