发明名称 MEASURING METHOD BY SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09304408(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960144975 申请日期 1996.05.15
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 NAGASAWA KIYOSHI;MURAYAMA TAKESHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q30/02;G01Q60/24;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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