发明名称
摘要
申请公布号 JP2686456(B2) 申请公布日期 1997.12.08
申请号 JP19880009593 申请日期 1988.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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